One-step firing for electroded PZT thick films applied to MEMS: Fid-Bau Portal

One-step firing for electroded PZT thick films applied to MEMS

Debeda, H. / Clement, P. / Llobet, E. / Lucat, C.

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Titel:

One-step firing for electroded PZT thick films applied to MEMS

Beteiligte:

Debeda, H. (Autor:in) / Clement, P. (Autor:in) / Llobet, E. (Autor:in) / Lucat, C. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 24 ; 025020

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

25020 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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