Growth kinetics and microstructure of MOCVD iridium coating from iridium(III) acetylacetonate with hydrogen: Fid-Bau Portal

Growth kinetics and microstructure of MOCVD iridium coating from iridium(III) acetylacetonate with hydrogen

Yang, S. / Yu, X. / Tan, C. / Wang, Y. / Ma, H. / Liu, K. / Cai, H.

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Titel:

Growth kinetics and microstructure of MOCVD iridium coating from iridium(III) acetylacetonate with hydrogen

Beteiligte:

Yang, S. (Autor:in) / Yu, X. (Autor:in) / Tan, C. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Ma, H. (Autor:in) / Liu, K. (Autor:in) / Cai, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 329 ; 248-255

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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