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Preparation of Iridium Films by MOCVD and Deposition Effectiveness Analysis

Yunfeng, H. / Zhaofeng, C. / Litong, Z.

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Titel:

Preparation of Iridium Films by MOCVD and Deposition Effectiveness Analysis

Beteiligte:

Yunfeng, H. (Autor:in) / Zhaofeng, C. (Autor:in) / Litong, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING ; 34 ; 139-142

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1002-185X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 669

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