Thermal stability of epitaxial cubic-TiN/(Al,Sc)N metal/semiconductor superlattices: Fid-Bau Portal

Thermal stability of epitaxial cubic-TiN/(Al,Sc)N metal/semiconductor superlattices

Schroeder, J. L. / Saha, B. / Garbrecht, M. / Schell, N. / Sands, T. D. / Birch, J.

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Titel:

Thermal stability of epitaxial cubic-TiN/(Al,Sc)N metal/semiconductor superlattices

Beteiligte:

Schroeder, J. L. (Autor:in) / Saha, B. (Autor:in) / Garbrecht, M. (Autor:in) / Schell, N. (Autor:in) / Sands, T. D. (Autor:in) / Birch, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 50 ; 3200-3206

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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