Laser-induced damage of Ta2O5 films obtained from TaCl5 precursor and annealed at different temperatures: Fid-Bau Portal

Laser-induced damage of Ta2O5 films obtained from TaCl5 precursor and annealed at different temperatures

Xu, C. / Li, D. / Fan, H. / Qi, J. / Deng, J. / Yang, S. / Yi, P. / Qiang, Y.

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Titel:

Laser-induced damage of Ta2O5 films obtained from TaCl5 precursor and annealed at different temperatures

Beteiligte:

Xu, C. (Autor:in) / Li, D. (Autor:in) / Fan, H. (Autor:in) / Qi, J. (Autor:in) / Deng, J. (Autor:in) / Yang, S. (Autor:in) / Yi, P. (Autor:in) / Qiang, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 344 ; 137-145

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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