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    Titel:

    Photoelectron spectroscopy as an in situ contact-less method for studies of MOS properties of ultrathin oxides on Si

    Beteiligte:

    Silva, A. G. (Autor:in) / Pedersen, K. (Autor:in) / Li, Z. S. (Autor:in) / Morgen, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 353 ; 1208-1213

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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