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    Titel:

    Electric and pyroelectric properties of AlN thin films deposited by reactive magnetron sputtering on Si substrate

    Beteiligte:

    Stan, G. E. (Autor:in) / Botea, M. (Autor:in) / Boni, G. A. (Autor:in) / Pintilie, I. (Autor:in) / Pintilie, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 353 ; 1195-1202

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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