Suppression of uphill diffusion caused by phosphorus deactivation using carbon implantation: Fid-Bau Portal

Suppression of uphill diffusion caused by phosphorus deactivation using carbon implantation

Chang, R. D. / Ling, Y. T. / Su, W. T.

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Titel:

Suppression of uphill diffusion caused by phosphorus deactivation using carbon implantation

Beteiligte:

Chang, R. D. (Autor:in) / Ling, Y. T. (Autor:in) / Su, W. T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 356 ; 1150-1154

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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