Microstructures and properties of titanium nitride films prepared by pulsed laser deposition at different substrate temperatures: Fid-Bau Portal

Microstructures and properties of titanium nitride films prepared by pulsed laser deposition at different substrate temperatures

Guo, H. / Chen, W. / Shan, Y. / Wang, W. / Zhang, Z. / Jia, J.

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Titel:

Microstructures and properties of titanium nitride films prepared by pulsed laser deposition at different substrate temperatures

Beteiligte:

Guo, H. (Autor:in) / Chen, W. (Autor:in) / Shan, Y. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in) / Jia, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 357 ; 473-478

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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