Fabrication of two-dimensional periodic structures on silicon after scanning irradiation with femtosecond laser multi-beams: Fid-Bau Portal

Fabrication of two-dimensional periodic structures on silicon after scanning irradiation with femtosecond laser multi-beams

Pan, A. / Si, J. / Chen, T. / Li, C. / Hou, X.

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Titel:

Fabrication of two-dimensional periodic structures on silicon after scanning irradiation with femtosecond laser multi-beams

Beteiligte:

Pan, A. (Autor:in) / Si, J. (Autor:in) / Chen, T. (Autor:in) / Li, C. (Autor:in) / Hou, X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 368 ; 443-448

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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