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Fabrication of high aspect ratio nanocell lattices by ion beam irradiation

Ishikawa, O. / Nitta, N. / Taniwaki, M.

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Titel:

Fabrication of high aspect ratio nanocell lattices by ion beam irradiation

Beteiligte:

Ishikawa, O. (Autor:in) / Nitta, N. (Autor:in) / Taniwaki, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 385 ; 515-520

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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