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    Titel:

    Fabrication Methods for High Aspect Ratio Microstructures

    Beteiligte:

    Watanabe, S. (Autor:in) / Esashi, M. (Autor:in) / Yamashita, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF INTELLIGENT MATERIAL SYSTEMS AND STRUCTURES ; 8 ; 173-176

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1045-389X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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