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    Titel:

    Study on Influence Laws of Surface Roughness of Micro-Groove in Single Crystal Silicon under Diamond Fly-Cutting

    Beteiligte:

    Yan, Y. Y. (Autor:in) / Wang, R. X. (Autor:in) / Zhao, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Key engineering materials ; 667 ; 142-148

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1105

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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