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Enhancing crystallization of silicon nanocrystal embedded in silicon-rich oxide by ion beam-assisted sputtering

Fu, Sheng-Wen / Chen, Hui-Ju / Wu, Hsuan-Ta / Shih, Chuan-Feng

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Titel:

Enhancing crystallization of silicon nanocrystal embedded in silicon-rich oxide by ion beam-assisted sputtering

Beteiligte:

Fu, Sheng-Wen (Autor:in) / Chen, Hui-Ju (Autor:in) / Wu, Hsuan-Ta (Autor:in) / Shih, Chuan-Feng (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 56 ; 1-4

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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