Preparation of SiNx multilayer films by mid-frequency magnetron sputtering for crystalline silicon solar cells: Fid-Bau Portal

Preparation of SiNx multilayer films by mid-frequency magnetron sputtering for crystalline silicon solar cells

Li, J.D. / Shen, G.S. / Chen, W.L. / Li, Z. / Hong, R.J.

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Titel:

Preparation of SiNx multilayer films by mid-frequency magnetron sputtering for crystalline silicon solar cells

Beteiligte:

Li, J.D. (Autor:in) / Shen, G.S. (Autor:in) / Chen, W.L. (Autor:in) / Li, Z. (Autor:in) / Hong, R.J. (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 59 ; 40-44

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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