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    Titel:

    Subtle gate oxide defect elimination to improve the reliability of a 32M-bit SRAM product

    Beteiligte:

    Kuo, Chinte (Autor:in) / Wei Zhang, David (Autor:in) / Wei, Wen (Autor:in) / Chen, Frank (Autor:in) / Pang, Albert (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 41 ; 485-490

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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