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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Plasma etching behavior of Y2O3 ceramics: Comparative study with Al2O3

    Beteiligte:

    Cao, Yu-Chao (Autor:in) / Zhao, Lei (Autor:in) / Luo, Jin (Autor:in) / Wang, Ke (Autor:in) / Zhang, Bo-Ping (Autor:in) / Yokota, Hiroki (Autor:in) / Ito, Yoshiyasu (Autor:in) / Li, Jing-Feng (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 366 ; 304-309

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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