Tailored wafer holder for a reliable deposition of sputtered aluminium nitride thin films at low temperatures: Fid-Bau Portal

Tailored wafer holder for a reliable deposition of sputtered aluminium nitride thin films at low temperatures

Fischeneder, M. / Wistrela, E. / Bittner, A. / Schneider, M. / Schmid, U.

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Titel:

Tailored wafer holder for a reliable deposition of sputtered aluminium nitride thin films at low temperatures

Beteiligte:

Fischeneder, M. (Autor:in) / Wistrela, E. (Autor:in) / Bittner, A. (Autor:in) / Schneider, M. (Autor:in) / Schmid, U. (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 71 ; 283-289

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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