Subsurface damage in polishing–annealing processed ZnO substrates: Fid-Bau Portal

Subsurface damage in polishing–annealing processed ZnO substrates

Prozheeva, V. / Johansen, K.M. / Neuvonen, P.T. / Zubiaga, A. / Vines, L. / Kuznetzov, A.Yu. / Tuomisto, F.

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Titel:

Subsurface damage in polishing–annealing processed ZnO substrates

Beteiligte:

Prozheeva, V. (Autor:in) / Johansen, K.M. (Autor:in) / Neuvonen, P.T. (Autor:in) / Zubiaga, A. (Autor:in) / Vines, L. (Autor:in) / Kuznetzov, A.Yu. (Autor:in) / Tuomisto, F. (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 69 ; 19-22

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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