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    Titel:

    Experiment and simulation study of laser dicing silicon with water-jet

    Beteiligte:

    Bao, Jiading (Autor:in) / Long, Yuhong (Autor:in) / Tong, Youqun (Autor:in) / Yang, Xiaoqing (Autor:in) / Zhang, Bin (Autor:in) / Zhou, Zupeng (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 387 ; 491-496

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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