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    Titel:

    Laser Dicing of Silicon Wafer

    Beteiligte:

    Tang, Y. (Autor:in) / Fuh, J.Y.H. (Autor:in) / Loh, H.T. (Autor:in) / Wong, Y.S. (Autor:in) / Lim, Y.K. (Autor:in) / Li, X. / Lu, L. / Tu, J. / Zhao, X. / Zhu, T.

    Erschienen in:

    Advances in Functional Materials ; 153-160

    SURFACE REVIEW AND LETTERS ; 15

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0218-625X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  530.417

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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