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On the target surface cleanness during magnetron sputtering

Schelfhout, R. / Strijckmans, K. / Boydens, F. / Depla, D.

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Titel:

On the target surface cleanness during magnetron sputtering

Beteiligte:

Schelfhout, R. (Autor:in) / Strijckmans, K. (Autor:in) / Boydens, F. (Autor:in) / Depla, D. (Autor:in)

Erschienen in:

Applied surface science ; 355 ; 743-747

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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