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    Titel:

    Effects of sputtering and assisting ions on the orientation of titanium nitride films fabricated by ion beam assisted sputtering deposition from metal target

    Beteiligte:

    Zhang, Linao (Autor:in) / Tong, Shuo (Autor:in) / Liu, Haonan (Autor:in) / Li, Yinglan (Autor:in) / Wang, Zhi (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 171 ; 304-307

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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