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    Dokumentinformationen
    Titel:

    A kinetic study of ZnO atomic layer deposition: Effects of surface hydroxyl concentration and steric hindrance

    Beteiligte:

    Kim, Sungjoon (Autor:in) / Lee, Sunyoung (Autor:in) / Ham, So-Yeon (Autor:in) / Ko, Dong-Hyun (Autor:in) / Shin, Seokhee (Autor:in) / Jin, Zhenyu (Autor:in) / Min, Yo-Sep (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 469 ; 804-810

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2019

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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