Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Double sided grating fabrication for high energy X-ray phase contrast imaging
Double sided grating fabrication for high energy X-ray phase contrast imaging
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Hollowell, Andrew E. (Autor:in) / Arrington, Christian L. (Autor:in) / Finnegan, Patrick (Autor:in) / Musick, Kate (Autor:in) / Resnick, Paul (Autor:in) / Volk, Steve (Autor:in) / Dagel, Amber L. (Autor:in)
Materials science in semiconductor processing ; 92 ; 86-90
01.01.2019
5 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.38152
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High aspect ratio anisotropic silicon etching for x-ray phase contrast imaging grating fabrication
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