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    Titel:

    On the mechanism of the micro-droplet etching of silicon wafers for texturization

    Beteiligte:

    Ye, Xingfang (Autor:in) / Zeng, Qingguo (Autor:in) / Zhang, Jinbing (Autor:in) / Zhou, Lang (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 96 ; 12-15

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2019

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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