Organic contamination of silicon wafers by buffered oxide etching: Fid-Bau Portal

Organic contamination of silicon wafers by buffered oxide etching

Beyer, M. / Budde, K. / Holzapfel, W.

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Titel:

Organic contamination of silicon wafers by buffered oxide etching

Beteiligte:

Beyer, M. (Autor:in) / Budde, K. (Autor:in) / Holzapfel, W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 63 ; 88

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

88 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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