Optical properties and charge transport of textured Sc2O3 thin films obtained by atomic layer deposition: Fid-Bau Portal

Optical properties and charge transport of textured Sc2O3 thin films obtained by atomic layer deposition

Lebedev, M.S. / Kruchinin, V.N. / Afonin, M.Yu. / Korolkov, I.V. / Saraev, A.A. / Gismatulin, A.A. / Gritsenko, V.A.

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Titel:

Optical properties and charge transport of textured Sc2O3 thin films obtained by atomic layer deposition

Beteiligte:

Lebedev, M.S. (Autor:in) / Kruchinin, V.N. (Autor:in) / Afonin, M.Yu. (Autor:in) / Korolkov, I.V. (Autor:in) / Saraev, A.A. (Autor:in) / Gismatulin, A.A. (Autor:in) / Gritsenko, V.A. (Autor:in)

Erschienen in:

Applied surface science ; 478 ; 690-698

Erscheinungsdatum:

01.01.2019

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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