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    Titel:

    Computer-aided design for microelectromechanical systems (MEMS)

    Beteiligte:

    Lee, Y.C. (Autor:in) / McCarthy, B. (Autor:in) / Diao, J. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in) / Harsh, K.F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    International journal of material & product technology ; 18 ; 356-380

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    25 pages

    ISSN:

    0268-1900

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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