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Partially ionized beam deposition of silicon dioxide and aluminium thin films defects generation

Wong, Justin Wai Chow

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Titel:

Partially ionized beam deposition of silicon dioxide and aluminium thin films defects generation

Beteiligte:

Wong, Justin Wai Chow (Autor:in)

Erscheinungsdatum:

1988

Format / Umfang:

Mfiche

Anmerkungen:

Troy, Rensselaer Polytechnic Inst., Ph.D.Thesis 1987
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek

Medientyp:

Buch

Format:

Sprache:

Unbekannt

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