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    Titel:

    Parameter Studies of Ceramic MEMS Microhotplates Fabricated by Laser Micromilling Technology

    Beteiligte:

    Oblov, N. Samotaev. K. (Autor:in) / Etrekova, M. (Autor:in) / Veselov, D. (Autor:in) / Gorshkova, A. (Autor:in)

    Kongress:

    International Conference on Metal Material Processes and Manufacturing ; 2. ; 2019 ; Cheju-do

    Erschienen in:

    Metal materials processes and manufacturing

    Erscheinungsdatum:

    2020

    ISBN:

    9783035716320 , 3035716323

    Medientyp:

    Aufsatz (Konferenz)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Schlagwörter:

    Materials science , Materials , Metals

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