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Verbundprojekt: Energieeffiziente Plasmabeschichtung bei reduziertem Energieeintrag mittels fernabfragbarer SAW-gestützter Prozessführung, Teilprojekt ITW: Entwicklung von Antennenstrukturen und Verfahren für fernabfragbare SAW-Sensoren in der Plasmabeschichtung : Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.08.2011 - 31.07.2014
Verbundprojekt: Energieeffiziente Plasmabeschichtung bei reduziertem Energieeintrag mittels fernabfragbarer SAW-gestützter Prozessführung, Teilprojekt ITW: Entwicklung von Antennenstrukturen und Verfahren für fernabfragbare SAW-Sensoren in der Plasmabeschichtung : Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.08.2011 - 31.07.2014
Verbundprojekt: Energieeffiziente Plasmabeschichtung bei reduziertem Energieeintrag mittels fernabfragbarer SAW-gestützter Prozessführung, Teilprojekt ITW: Entwicklung von Antennenstrukturen und Verfahren für fernabfragbare SAW-Sensoren in der Plasmabeschichtung : Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.08.2011 - 31.07.2014
Energieeffiziente Plasmabeschichtung bei reduziertem Energieeintrag mittels fernabfragbarer SAW-gestützter Prozessführung
EEP-Prozess
Müller, Reimund (Autor:in)
2015
56 Bl., Bl. 71 - 75
zahlr. Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 03ET1031B. - Verbund-Nr. 01088645
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Report
Deutsch
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