Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Verbundener Körper und elastische Welle-Element
Verbundener Körper (1), der ein Trägersubstrat (3) und eine Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) umfasst, wobei das Trägersubstrat (3) Mullit umfasst und die Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) ein Material umfasst, das LiAO3umfasst (A stellt ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, dar):wobei der verbundene Körper (1) eine Grenzflächenschicht (4), die entlang einer Grenzfläche zwischen dem Trägersubstrat (3) und der Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) vorliegt, und eine Trägersubstrat-seitige Zwischenschicht (5) umfasst, die zwischen der Grenzflächenschicht (4) und dem Trägersubstrat (3) vorliegt; undwobei jede der Grenzflächenschicht (4) und der Trägersubstrat-seitigen Zwischenschicht (5) Sauerstoff, Aluminium, Silizium und ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, als Hauptbestandteile umfasst.
A bonded body having a supporting substrate and piezoelectric material layer is provided. The supporting substrate is composed of mullite, and the material of the piezoelectric material layer is LiAO3 where A represents one or more element selected from the group consisting of niobium and tantalum. An interface layer is present along an interface between the supporting body and piezoelectric material layer, and a supporting substrate-side intermediate layer is present between the interface layer and supporting substrate. Each of the interface layer and supporting substrate-side intermediate layer contains oxygen, aluminum, silicon and one or more element selected from the group consisting of niobium and tantalum as main components.
Verbundener Körper und elastische Welle-Element
Verbundener Körper (1), der ein Trägersubstrat (3) und eine Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) umfasst, wobei das Trägersubstrat (3) Mullit umfasst und die Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) ein Material umfasst, das LiAO3umfasst (A stellt ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, dar):wobei der verbundene Körper (1) eine Grenzflächenschicht (4), die entlang einer Grenzfläche zwischen dem Trägersubstrat (3) und der Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) vorliegt, und eine Trägersubstrat-seitige Zwischenschicht (5) umfasst, die zwischen der Grenzflächenschicht (4) und dem Trägersubstrat (3) vorliegt; undwobei jede der Grenzflächenschicht (4) und der Trägersubstrat-seitigen Zwischenschicht (5) Sauerstoff, Aluminium, Silizium und ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, als Hauptbestandteile umfasst.
A bonded body having a supporting substrate and piezoelectric material layer is provided. The supporting substrate is composed of mullite, and the material of the piezoelectric material layer is LiAO3 where A represents one or more element selected from the group consisting of niobium and tantalum. An interface layer is present along an interface between the supporting body and piezoelectric material layer, and a supporting substrate-side intermediate layer is present between the interface layer and supporting substrate. Each of the interface layer and supporting substrate-side intermediate layer contains oxygen, aluminum, silicon and one or more element selected from the group consisting of niobium and tantalum as main components.
Verbundener Körper und elastische Welle-Element
GOTO MASASHI (Autor:in) / TAI TOMOYOSHI (Autor:in) / MINOURA MAI (Autor:in)
02.05.2024
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
Verbundener Körper aus einem piezoelektrischen Einkristallsubstrat und einem Trägersubstrat
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