Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Verbundener Körper aus einem piezoelektrischen Einkristallsubstrat und einem Trägersubstrat
(Aufgabe) Es ist die Aufgabe, in einem verbundenen Körper 8 (8A) aus einem piezoelektrischen Einkristallsubstrat 1 (1A), das aus Lithiumniobat oder dergleichen zusammengesetzt ist, und einem Trägersubstrat 3 ein Verziehen des verbundenen Körpers beim Erwärmen zu unterdrücken.(Lösung) Ein verbundener Körper 8 (8A) umfasst ein Trägersubstrat 3; ein piezoelektrisches Einkristallsubstrat 1 (1A), das aus einem Material, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Lithiumniobat, Lithiumtantalat und Lithiumniobat-Lithiumtantalat, zusammengesetzt ist; und eine amorphe Schicht 7, die zwischen dem Trägersubstrat 3 und dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material 1 (1A) vorliegt, und wobei die amorphe Schicht 7 ein oder mehrere Metallatom(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, ein Atom, welches das Trägersubstrat 3 bildet, und ein Argonatom enthält. Eine Konzentration des Argonatoms in einem zentralen Teil der amorphen Schicht 7 ist höher als eine Konzentration des Argonatoms in einem Randteil der amorphen Schicht 7.
A bonded body includes a supporting substrate; a piezoelectric single crystal substrate composed of a material selected from the group consisting of lithium niobate, lithium tantalate and lithium niobate-lithium tantalate; and an amorphous layer present between the supporting substrate and piezoelectric material substrate, and the amorphous layer contains one or more metal atoms selected from the group consisting of niobium and tantalum, an atom constituting the supporting substrate, and an argon atom. A concentration of the argon atom in a central part of the amorphous layer is higher than a concentration of the argon atom in a peripheral part of the amorphous layer.
Verbundener Körper aus einem piezoelektrischen Einkristallsubstrat und einem Trägersubstrat
(Aufgabe) Es ist die Aufgabe, in einem verbundenen Körper 8 (8A) aus einem piezoelektrischen Einkristallsubstrat 1 (1A), das aus Lithiumniobat oder dergleichen zusammengesetzt ist, und einem Trägersubstrat 3 ein Verziehen des verbundenen Körpers beim Erwärmen zu unterdrücken.(Lösung) Ein verbundener Körper 8 (8A) umfasst ein Trägersubstrat 3; ein piezoelektrisches Einkristallsubstrat 1 (1A), das aus einem Material, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Lithiumniobat, Lithiumtantalat und Lithiumniobat-Lithiumtantalat, zusammengesetzt ist; und eine amorphe Schicht 7, die zwischen dem Trägersubstrat 3 und dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material 1 (1A) vorliegt, und wobei die amorphe Schicht 7 ein oder mehrere Metallatom(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, ein Atom, welches das Trägersubstrat 3 bildet, und ein Argonatom enthält. Eine Konzentration des Argonatoms in einem zentralen Teil der amorphen Schicht 7 ist höher als eine Konzentration des Argonatoms in einem Randteil der amorphen Schicht 7.
A bonded body includes a supporting substrate; a piezoelectric single crystal substrate composed of a material selected from the group consisting of lithium niobate, lithium tantalate and lithium niobate-lithium tantalate; and an amorphous layer present between the supporting substrate and piezoelectric material substrate, and the amorphous layer contains one or more metal atoms selected from the group consisting of niobium and tantalum, an atom constituting the supporting substrate, and an argon atom. A concentration of the argon atom in a central part of the amorphous layer is higher than a concentration of the argon atom in a peripheral part of the amorphous layer.
Verbundener Körper aus einem piezoelektrischen Einkristallsubstrat und einem Trägersubstrat
TAI TOMOYOSHI (Autor:in) / HATTORI RYOSUKE (Autor:in)
31.12.2020
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
Verfahren zum Entfernen einer Schicht auf einem Trägersubstrat
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