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Blanco de pulverización catódica cilíndrico de óxido de titanio y procedimiento para la fabricación del mismo
Blanco de pulverización catódica cilíndrico que comprende un sustrato y un material de blanco que forma una capa sobre el sustrato, dicha capa tiene un espesor d, en el que el material de blanco comprende TiOx subestequimétrico como componente principal, y caracterizado por que d es, como mínimo, 12 mm y x está dentro de un intervalo de 1,45 < x < 1,65.
Known cylindrical sputtering targets comprise a substrate and a target material that forms a layer on the substrate, said layer has a thickness d, wherein the target material comprises TiOx as the main component, and x is within a range of 1
Blanco de pulverización catódica cilíndrico de óxido de titanio y procedimiento para la fabricación del mismo
Blanco de pulverización catódica cilíndrico que comprende un sustrato y un material de blanco que forma una capa sobre el sustrato, dicha capa tiene un espesor d, en el que el material de blanco comprende TiOx subestequimétrico como componente principal, y caracterizado por que d es, como mínimo, 12 mm y x está dentro de un intervalo de 1,45 < x < 1,65.
Known cylindrical sputtering targets comprise a substrate and a target material that forms a layer on the substrate, said layer has a thickness d, wherein the target material comprises TiOx as the main component, and x is within a range of 1
Blanco de pulverización catódica cilíndrico de óxido de titanio y procedimiento para la fabricación del mismo
SCHULTHEIS MARKUS (Autor:in) / SIMONS CHRISTOPH (Autor:in) / SCHLOTT MARTIN (Autor:in)
02.06.2022
Patent
Elektronische Ressource
Spanisch
Blanco de pulverización catódica de óxido de Sn Zn (Ga)
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