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ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an aluminum nitride sintered body with high volume resistivity.SOLUTION: An aluminum nitride sintered body has a calcium content of 10 ppm or less in terms of mass, a magnesium content of 20 ppm or less in terms of mass, and a total content of transition metal components of 1-100 ppm in terms of mass. An oxygen content is preferably 0.9-1.4 mass%, and a transition metal content is preferably 10-100 ppm.SELECTED DRAWING: None
【課題】体積抵抗率が高い窒化アルミニウム焼結体を提供する。【解決手段】カルシウムの含有率が質量基準で10ppm以下であり、マグネシウムの含有率が質量基準で20ppm以下であり、かつ遷移金属成分の合計が質量基準で1〜100ppmである窒化アルミニウム焼結体である。酸素の含有率は0.9〜1.4質量%であることが好ましく、遷移金属が10〜100ppmであることが好ましい。【選択図】なし
ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an aluminum nitride sintered body with high volume resistivity.SOLUTION: An aluminum nitride sintered body has a calcium content of 10 ppm or less in terms of mass, a magnesium content of 20 ppm or less in terms of mass, and a total content of transition metal components of 1-100 ppm in terms of mass. An oxygen content is preferably 0.9-1.4 mass%, and a transition metal content is preferably 10-100 ppm.SELECTED DRAWING: None
【課題】体積抵抗率が高い窒化アルミニウム焼結体を提供する。【解決手段】カルシウムの含有率が質量基準で10ppm以下であり、マグネシウムの含有率が質量基準で20ppm以下であり、かつ遷移金属成分の合計が質量基準で1〜100ppmである窒化アルミニウム焼結体である。酸素の含有率は0.9〜1.4質量%であることが好ましく、遷移金属が10〜100ppmであることが好ましい。【選択図】なし
ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY
窒化アルミニウム焼結体
UMEKI TOSHIYA (Autor:in) / TSUTAI YOSHIFUMI (Autor:in) / HAYASAKA AI (Autor:in)
01.02.2018
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Aluminum Nitride Sintered Body and Method for Preparing Aluminum Nitride Sintered Body
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|ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY, AND METHOD FOR MANUFACTURING ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY
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