Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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VACUUM PROCESS CHAMBER COMPONENT AND METHODS OF MAKING
To provide a vacuum process chamber component and methods of making the same.SOLUTION: A vacuum process chamber component comprises two separate pieces, which have an O-ring therebetween and are solder-bonded together. The component may be an electrostatic chuck comprising a ceramic electrostatic puck and a metal baseplate, which have at least one O-ring therebetween and are joined by a solder bond. Methods of making and using the vacuum process chamber component are also described.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】真空プロセス・チャンバの構成部品及びその製造方法を提供する。【解決手段】それらの間にＯリングを有し、互いにはんだ接合された２つの別個の部分を含む真空プロセス・チャンバの構成部品が説明される。それらの間に少なくとも１つのＯリングを有し、はんだ接合部により接合された、セラミック製静電パック及び金属製ベースプレートを含む静電チャックとすることができる構成部品が説明される。真空プロセス・チャンバの構成部品を作製及び使用する方法も説明される。【選択図】図１
VACUUM PROCESS CHAMBER COMPONENT AND METHODS OF MAKING
To provide a vacuum process chamber component and methods of making the same.SOLUTION: A vacuum process chamber component comprises two separate pieces, which have an O-ring therebetween and are solder-bonded together. The component may be an electrostatic chuck comprising a ceramic electrostatic puck and a metal baseplate, which have at least one O-ring therebetween and are joined by a solder bond. Methods of making and using the vacuum process chamber component are also described.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】真空プロセス・チャンバの構成部品及びその製造方法を提供する。【解決手段】それらの間にＯリングを有し、互いにはんだ接合された２つの別個の部分を含む真空プロセス・チャンバの構成部品が説明される。それらの間に少なくとも１つのＯリングを有し、はんだ接合部により接合された、セラミック製静電パック及び金属製ベースプレートを含む静電チャックとすることができる構成部品が説明される。真空プロセス・チャンバの構成部品を作製及び使用する方法も説明される。【選択図】図１
VACUUM PROCESS CHAMBER COMPONENT AND METHODS OF MAKING
真空プロセス・チャンバの構成部品及び製造方法
VIJAY D PARKHE (Autor:in)
31.01.2019
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
Device and method for replacing component in vacuum chamber
| Europäisches Patentamt | 2020
Ceramic vacuum chamber of nonlinear impact magnet and manufacturing method of ceramic vacuum chamber
| Europäisches Patentamt | 2023
Component Selections for Industrial Process Vacuum Systems
| British Library Conference Proceedings | 1997