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LIQUID COMPOSITION FOR FORMING PIEZOELECTRIC FILM AND METHOD FOR FORMING PIEZOELECTRIC FILM IN WHICH SAID LIQUID COMPOSITION IS USED
To provide a method for producing a liquid composition for forming a piezoelectric film that does not contain lead, does not contain a solvent with high toxicity and corrosiveness, has excellent storage stability, and has high film density.SOLUTION: The present invention is a liquid composition for forming a piezoelectric film comprising a metal oxide that contains at least Bi, Na, and Ti. The Na feedstock is an Na alkoxide, and the Ti feedstock is a Ti alkoxide, said composition containing a diol and an amine stabilizer, and the molar ratio of the amine stabilizer to the Ti alkoxide (Ti alkoxide:amine stabilizer) being 1:0.5-1:4. The metal oxide content is preferably 4-20 mass% with respect to 100 mass% of the liquid composition.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】鉛を含まず、毒性及び腐食性の高い溶媒を含まず、保存安定性に優れ、膜密度が高い圧電体膜を形成するための液組成物を製造する方法を提供する。【解決手段】Ｂｉ、Ｎａ及びＴｉを少なくとも含む金属酸化物からなる圧電体膜を形成するための液組成物である。Ｎａの原料がＮａアルコキシドであり、Ｔｉの原料がＴｉアルコキシドであって、ジオールとアミン系安定化剤を含み、Ｔｉアルコキシドに対するアミン系安定化剤のモル比（Ｔｉアルコキシド：アミン系安定化剤）が１：０．５〜１：４である。液組成物１００質量％に対して金属酸化物を４質量％〜２０質量％含むことが好ましい。【選択図】図１
LIQUID COMPOSITION FOR FORMING PIEZOELECTRIC FILM AND METHOD FOR FORMING PIEZOELECTRIC FILM IN WHICH SAID LIQUID COMPOSITION IS USED
To provide a method for producing a liquid composition for forming a piezoelectric film that does not contain lead, does not contain a solvent with high toxicity and corrosiveness, has excellent storage stability, and has high film density.SOLUTION: The present invention is a liquid composition for forming a piezoelectric film comprising a metal oxide that contains at least Bi, Na, and Ti. The Na feedstock is an Na alkoxide, and the Ti feedstock is a Ti alkoxide, said composition containing a diol and an amine stabilizer, and the molar ratio of the amine stabilizer to the Ti alkoxide (Ti alkoxide:amine stabilizer) being 1:0.5-1:4. The metal oxide content is preferably 4-20 mass% with respect to 100 mass% of the liquid composition.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】鉛を含まず、毒性及び腐食性の高い溶媒を含まず、保存安定性に優れ、膜密度が高い圧電体膜を形成するための液組成物を製造する方法を提供する。【解決手段】Ｂｉ、Ｎａ及びＴｉを少なくとも含む金属酸化物からなる圧電体膜を形成するための液組成物である。Ｎａの原料がＮａアルコキシドであり、Ｔｉの原料がＴｉアルコキシドであって、ジオールとアミン系安定化剤を含み、Ｔｉアルコキシドに対するアミン系安定化剤のモル比（Ｔｉアルコキシド：アミン系安定化剤）が１：０．５〜１：４である。液組成物１００質量％に対して金属酸化物を４質量％〜２０質量％含むことが好ましい。【選択図】図１
LIQUID COMPOSITION FOR FORMING PIEZOELECTRIC FILM AND METHOD FOR FORMING PIEZOELECTRIC FILM IN WHICH SAID LIQUID COMPOSITION IS USED
圧電体膜形成用液組成物及びこの液組成物を用いて圧電体膜を形成する方法
DOI TOSHIHIRO (Autor:in) / SOYAMA NOBUYUKI (Autor:in)
03.10.2019
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
| Europäisches Patentamt | 2018
| Europäisches Patentamt | 2020
| Europäisches Patentamt | 2022
COMPOSITION FOR FORMING CERIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
| Europäisches Patentamt | 2018
| Europäisches Patentamt | 2019