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NON-LEAD-BASED FERROELECTRIC THIN FILM
To provide a novel non-lead-based ferroelectric thin film that contains no lead and shows excellent crystal orientation in c axial direction.SOLUTION: A non-lead-based ferroelectric thin film contains an oxide containing Bi, Ti, and lanthanoid and shows excellent crystal orientation in c axial direction. Preferably, the lanthanoid is at least one selected from the group consisting of Sm, Eu, Gd, Tb, La, and Nd. More preferably, the lanthanoid is Nd and Eu. Preferably, the oxide thin film has an orientation rate in c axial direction of 97.0% or more.SELECTED DRAWING: None
【課題】鉛を含まず、かつc軸方向に優れた結晶配向性を有する新規の非鉛強誘電体薄膜を提供すること。【解決手段】Bi、Ti、及びランタノイドを含有する酸化物からなり、c軸方向に結晶配向性を有する非鉛強誘電体酸化物薄膜。好ましくは、前記ランタノイドが、Sm、Eu、Gd、Tb、La、及びNdからなる群より選択される少なくとも1種以上、より好ましくは、前記ランタノイドがNd及びEuである。好ましくは、前記酸化物薄膜のc軸方向への配向率が97.0%以上である。【選択図】なし
NON-LEAD-BASED FERROELECTRIC THIN FILM
To provide a novel non-lead-based ferroelectric thin film that contains no lead and shows excellent crystal orientation in c axial direction.SOLUTION: A non-lead-based ferroelectric thin film contains an oxide containing Bi, Ti, and lanthanoid and shows excellent crystal orientation in c axial direction. Preferably, the lanthanoid is at least one selected from the group consisting of Sm, Eu, Gd, Tb, La, and Nd. More preferably, the lanthanoid is Nd and Eu. Preferably, the oxide thin film has an orientation rate in c axial direction of 97.0% or more.SELECTED DRAWING: None
【課題】鉛を含まず、かつc軸方向に優れた結晶配向性を有する新規の非鉛強誘電体薄膜を提供すること。【解決手段】Bi、Ti、及びランタノイドを含有する酸化物からなり、c軸方向に結晶配向性を有する非鉛強誘電体酸化物薄膜。好ましくは、前記ランタノイドが、Sm、Eu、Gd、Tb、La、及びNdからなる群より選択される少なくとも1種以上、より好ましくは、前記ランタノイドがNd及びEuである。好ましくは、前記酸化物薄膜のc軸方向への配向率が97.0%以上である。【選択図】なし
NON-LEAD-BASED FERROELECTRIC THIN FILM
非鉛強誘電体薄膜
OFUNE MASABUMI (Autor:in) / UDA TSUBASA (Autor:in) / KAMEI TADASUKE (Autor:in)
31.10.2019
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
BaRuO~3 thin film electrode for ferroelectric lead zirconate titanate capacitors
British Library Online Contents | 1999
|Europäisches Patentamt | 2015
Europäisches Patentamt | 2017
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