Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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To provide a ceramic member capable of extending service life.SOLUTION: A ceramic member 10 includes: a base material 1, made of ceramics containing aluminum nitride as a main component and yttrium, having a mounting surface 1a on which a substrate W is mounted; a first electrode 2, embedded in the base material 1, made of molybdenum or an alloy containing molybdenum as a main component; and a second electrode 3, embedded in the base material on the mounting surface 1a side of the first electrode 2, made of tungsten or an alloy containing tungsten as a main component.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】高寿命化を図ることが可能なセラミックス部材を提供する。【解決手段】セラミックス部材１０は、窒化アルミニウムを主成分とし、イットリウムを含むセラミックスからなり、基板Ｗが載置される載置面１ａを有する基材１と、基材１の内部に埋設され、モリブデン又はモリブデンを主成分とする合金からなる第１の電極２と、第１の電極２よりも載置面１ａ側にて前記基材の内部に埋設され、タングステン又はタングステンを主成分とする合金からなる第２の電極３とを備える。【選択図】図１
To provide a ceramic member capable of extending service life.SOLUTION: A ceramic member 10 includes: a base material 1, made of ceramics containing aluminum nitride as a main component and yttrium, having a mounting surface 1a on which a substrate W is mounted; a first electrode 2, embedded in the base material 1, made of molybdenum or an alloy containing molybdenum as a main component; and a second electrode 3, embedded in the base material on the mounting surface 1a side of the first electrode 2, made of tungsten or an alloy containing tungsten as a main component.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】高寿命化を図ることが可能なセラミックス部材を提供する。【解決手段】セラミックス部材１０は、窒化アルミニウムを主成分とし、イットリウムを含むセラミックスからなり、基板Ｗが載置される載置面１ａを有する基材１と、基材１の内部に埋設され、モリブデン又はモリブデンを主成分とする合金からなる第１の電極２と、第１の電極２よりも載置面１ａ側にて前記基材の内部に埋設され、タングステン又はタングステンを主成分とする合金からなる第２の電極３とを備える。【選択図】図１
CERAMIC MEMBER
セラミックス部材
TSUCHIDA ATSUSHI (Autor:in)
20.08.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch