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METHOD FOR PRODUCING CERAMIC SUBSTRATE AND CERAMIC SUBSTRATE
To provide a method for producing a ceramic substrate capable of easily producing a ceramic substrate with high thermal conductivity and high mechanical strength, and a ceramic substrate.SOLUTION: There is provided a method for producing a ceramic substrate including: a green sheet producing step of producing a green sheet using: alumina having an average raw material particle size of 0.45 μm or more and 0.47 μm or less and standard deviation of the average raw material particle size of 0.14 or more and 0.22 or less; stabilized zirconia having an average raw material particle size of 0.54 μm or more and 0.56 μm or less and standard deviation of the average raw material particle size of 0.13 or more and 0.19 or less; and magnesia; and a firing step of firing the green sheet at a firing temperature of 1504°C or higher and 1590°C or lower, wherein a mass ratio of a mass of the alumina to a mass of the stabilized zirconia is 88.2:11.8 to 90.0:10.0.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】高い熱伝導率と高い機械的強度とを備えるセラミック基板を容易に製造し得るセラミック基板の製造方法及びセラミック基板を提供する。【解決手段】セラミック基板の製造方法は、平均原料粒径が0.45μm以上0.47μm以下かつ平均原料粒径の標準偏差が0.14以上0.22以下のアルミナと、平均原料粒径が0.54μm以上0.56μm以下かつ平均原料粒径の標準偏差が0.13以上0.19以下の安定化ジルコニアと、マグネシアとを用いてグリーンシートを製造するグリーンシート作製工程と、当該グリーンシートを1504℃以上1590℃以下の焼成温度で焼成する焼成工程と、を備え、アルミナの質量と安定化ジルコニアの質量との質量比が88.2:11.8〜90.0:10.0である。【選択図】図3
METHOD FOR PRODUCING CERAMIC SUBSTRATE AND CERAMIC SUBSTRATE
To provide a method for producing a ceramic substrate capable of easily producing a ceramic substrate with high thermal conductivity and high mechanical strength, and a ceramic substrate.SOLUTION: There is provided a method for producing a ceramic substrate including: a green sheet producing step of producing a green sheet using: alumina having an average raw material particle size of 0.45 μm or more and 0.47 μm or less and standard deviation of the average raw material particle size of 0.14 or more and 0.22 or less; stabilized zirconia having an average raw material particle size of 0.54 μm or more and 0.56 μm or less and standard deviation of the average raw material particle size of 0.13 or more and 0.19 or less; and magnesia; and a firing step of firing the green sheet at a firing temperature of 1504°C or higher and 1590°C or lower, wherein a mass ratio of a mass of the alumina to a mass of the stabilized zirconia is 88.2:11.8 to 90.0:10.0.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】高い熱伝導率と高い機械的強度とを備えるセラミック基板を容易に製造し得るセラミック基板の製造方法及びセラミック基板を提供する。【解決手段】セラミック基板の製造方法は、平均原料粒径が0.45μm以上0.47μm以下かつ平均原料粒径の標準偏差が0.14以上0.22以下のアルミナと、平均原料粒径が0.54μm以上0.56μm以下かつ平均原料粒径の標準偏差が0.13以上0.19以下の安定化ジルコニアと、マグネシアとを用いてグリーンシートを製造するグリーンシート作製工程と、当該グリーンシートを1504℃以上1590℃以下の焼成温度で焼成する焼成工程と、を備え、アルミナの質量と安定化ジルコニアの質量との質量比が88.2:11.8〜90.0:10.0である。【選択図】図3
METHOD FOR PRODUCING CERAMIC SUBSTRATE AND CERAMIC SUBSTRATE
セラミック基板の製造方法及びセラミック基板
SAKAGUCHI SHINOBU (Autor:in)
07.10.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
CERAMIC SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING A CERAMIC SUBSTRATE
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