Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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METHOD FOR MANUFACTURING SUCTION MEMBER, AND SUCTION MEMBER
To provide a suction member that can reduce attachment of particles to an object to be sucked and has relatively strong mechanical strength.SOLUTION: A method is for manufacturing a suction member comprising a base formed of a ceramic sintered body and a plurality of projections projecting from a surface of the base, and includes: a preparation step of preparing a plate-like body formed of a ceramic sintered body; a film production step of forming, on the plate-like body, a film formed of the same material as that of the plate-like body and finer than the plate-like body; a blast processing step of forming, through blast processing, a plurality of precursor projections higher than the thickness of the film; and a laser processing step of processing, through laser processing, side faces of the precursor projections to form the projections.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】 被吸着体へのパーティクルの付着を低減でき、かつ比較的機械強度が強い吸着部材を提供する。【解決手段】 セラミック焼結体からなる基部と、前記基部の表面から突出した複数の凸部とを備える吸着部材の製造方法であって、セラミック焼結体からなる板状体を準備する準備工程と、前記板状体の上に、前記板状体と同種の材質からなり前記板状体よりも緻密な膜を形成する製膜工程と、ブラスト加工により、前記膜の厚みよりも高い複数の前駆凸部を形成するブラスト加工工程と、レーザ加工により、前記前駆凸部の側面を加工して前記凸部を形成するレーザ加工工程とを有する。【選択図】 図２
METHOD FOR MANUFACTURING SUCTION MEMBER, AND SUCTION MEMBER
To provide a suction member that can reduce attachment of particles to an object to be sucked and has relatively strong mechanical strength.SOLUTION: A method is for manufacturing a suction member comprising a base formed of a ceramic sintered body and a plurality of projections projecting from a surface of the base, and includes: a preparation step of preparing a plate-like body formed of a ceramic sintered body; a film production step of forming, on the plate-like body, a film formed of the same material as that of the plate-like body and finer than the plate-like body; a blast processing step of forming, through blast processing, a plurality of precursor projections higher than the thickness of the film; and a laser processing step of processing, through laser processing, side faces of the precursor projections to form the projections.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】 被吸着体へのパーティクルの付着を低減でき、かつ比較的機械強度が強い吸着部材を提供する。【解決手段】 セラミック焼結体からなる基部と、前記基部の表面から突出した複数の凸部とを備える吸着部材の製造方法であって、セラミック焼結体からなる板状体を準備する準備工程と、前記板状体の上に、前記板状体と同種の材質からなり前記板状体よりも緻密な膜を形成する製膜工程と、ブラスト加工により、前記膜の厚みよりも高い複数の前駆凸部を形成するブラスト加工工程と、レーザ加工により、前記前駆凸部の側面を加工して前記凸部を形成するレーザ加工工程とを有する。【選択図】 図２
METHOD FOR MANUFACTURING SUCTION MEMBER, AND SUCTION MEMBER
吸着部材の製造方法および吸着部材
HARADA MASAHIRO (Autor:in)
09.06.2022
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
B23K
Löten
,
SOLDERING OR UNSOLDERING
/
B23P
Sonstige Metallbearbeitung
,
OTHER WORKING OF METAL
/
B24C
ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
,
Abschleifendes oder ähnliches Abstrahlen mit teilchenförmigem Werkstoff
/
C04B
Kalk
,
LIME
| Europäisches Patentamt | 2023
| Europäisches Patentamt | 2021
GAS PLUG, MEMBER FOR ELECTROSTATIC SUCTION AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
| Europäisches Patentamt | 2020