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GAS PLUG, MEMBER FOR ELECTROSTATIC SUCTION AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
A gas plug according to the present disclosure is composed of a columnar porous composite body that is obtained by connecting a plurality of silicon compound phases that are mainly composed of silicon carbide, with a silicon phase that is mainly composed of silicon being interposed therebetween. The porous composite body is internally contained in a cylindrical body that is formed of a dense ceramic.
Une prise de gaz selon la présente invention est composée d'un corps composite poreux colonnaire qui est obtenu en reliant une pluralité de phases de composés de silicium qui sont composées principalement de carbure de silicium, avec une phase de silicium qui est composée principalement de silicium intercalée entre celles-ci. Le corps composite poreux est contenu à l'intérieur d'un corps cylindrique qui est formé d'une céramique dense.
本開示のガスプラグは、炭化珪素を主成分とする複数の珪素化合物相どうしが、珪素を主成分とする珪素相を介して接続されてなる柱状の多孔質複合体からなる。多孔質複合体は、緻密質のセラミックスからなる筒状体の内部に収容されてなる。
GAS PLUG, MEMBER FOR ELECTROSTATIC SUCTION AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
A gas plug according to the present disclosure is composed of a columnar porous composite body that is obtained by connecting a plurality of silicon compound phases that are mainly composed of silicon carbide, with a silicon phase that is mainly composed of silicon being interposed therebetween. The porous composite body is internally contained in a cylindrical body that is formed of a dense ceramic.
Une prise de gaz selon la présente invention est composée d'un corps composite poreux colonnaire qui est obtenu en reliant une pluralité de phases de composés de silicium qui sont composées principalement de carbure de silicium, avec une phase de silicium qui est composée principalement de silicium intercalée entre celles-ci. Le corps composite poreux est contenu à l'intérieur d'un corps cylindrique qui est formé d'une céramique dense.
本開示のガスプラグは、炭化珪素を主成分とする複数の珪素化合物相どうしが、珪素を主成分とする珪素相を介して接続されてなる柱状の多孔質複合体からなる。多孔質複合体は、緻密質のセラミックスからなる筒状体の内部に収容されてなる。
GAS PLUG, MEMBER FOR ELECTROSTATIC SUCTION AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
PRISE DE GAZ, ÉLÉMENT D'ASPIRATION ÉLECTROSTATIQUE ET APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA
ガスプラグ、静電吸着用部材およびプラズマ処理装置
KAWASE YUUJI (Autor:in) / NOGUCHI YUKIO (Autor:in)
08.10.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
GAS PLUG, ELECTROSTATIC ATTRACTION MEMBER, AND PLASMA TREATMENT DEVICE
| Europäisches Patentamt | 2022
METHOD FOR MANUFACTURING SUCTION MEMBER, AND SUCTION MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2022
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING APPARATUS MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2019