Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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To provide a break filter which makes vent gas gentle and uniformly disperses the vent gas, and can suppress soaring of particles, in which the break filter has such a configuration that a silicon carbide porous body and an alumina porous body are arranged on a surface on an inner side of a device of the silicon carbide porous body, and accordingly has such characteristics as to uniformly jet the vent gas and suppress soaring of particles in a load lock, and has such filtration characteristics as to remove the particles contained in the vent gas, and is not affected by atmosphere gas, and accordingly the characteristics are maintained even by long-term use.SOLUTION: A break filter is composed of a silicon carbide porous body, and an alumina porous body arranged on a surface on a device inner side on one side of the silicon carbide porous body.SELECTED DRAWING: Figure 3A
【課題】本発明は、ベントガスの流れを緩やかにして均一に拡散し、パーティクルの舞い上がりを防ぐことができるブレイクフィルタを提供することを目的とする。本発明によれば、炭化ケイ素多孔体と、炭化ケイ素多孔体の装置内側となる面にアルミナ多孔体を配置した構成を有することで、ベントガスを均一に噴出し、ロードロック内のパーティクルを舞い上がらせない特性や、ベントガスに含まれるパーティクルを除去するろ過特性を有するとともに、雰囲気ガスに侵されることもないので、これらの特性は長期間の使用によっても維持される。【解決手段】炭化ケイ素多孔体と、炭化ケイ素多孔体の片側で装置内部側の面に配置されたアルミナ多孔体とからなるブレイクフィルタ。【選択図】図３Ａ
To provide a break filter which makes vent gas gentle and uniformly disperses the vent gas, and can suppress soaring of particles, in which the break filter has such a configuration that a silicon carbide porous body and an alumina porous body are arranged on a surface on an inner side of a device of the silicon carbide porous body, and accordingly has such characteristics as to uniformly jet the vent gas and suppress soaring of particles in a load lock, and has such filtration characteristics as to remove the particles contained in the vent gas, and is not affected by atmosphere gas, and accordingly the characteristics are maintained even by long-term use.SOLUTION: A break filter is composed of a silicon carbide porous body, and an alumina porous body arranged on a surface on a device inner side on one side of the silicon carbide porous body.SELECTED DRAWING: Figure 3A
【課題】本発明は、ベントガスの流れを緩やかにして均一に拡散し、パーティクルの舞い上がりを防ぐことができるブレイクフィルタを提供することを目的とする。本発明によれば、炭化ケイ素多孔体と、炭化ケイ素多孔体の装置内側となる面にアルミナ多孔体を配置した構成を有することで、ベントガスを均一に噴出し、ロードロック内のパーティクルを舞い上がらせない特性や、ベントガスに含まれるパーティクルを除去するろ過特性を有するとともに、雰囲気ガスに侵されることもないので、これらの特性は長期間の使用によっても維持される。【解決手段】炭化ケイ素多孔体と、炭化ケイ素多孔体の片側で装置内部側の面に配置されたアルミナ多孔体とからなるブレイクフィルタ。【選択図】図３Ａ
BREAK FILTER
ブレイクフィルタ
FUKUOKA SEIICHI (Autor:in)
27.06.2022
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
BREAK FILTER AND MANUFACTURING METHOD OF BREAK FILTER
| Europäisches Patentamt | 2021
Break filter using a silicon carbide porous body and manufacturing method of the break filter
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Effect of break-point chlorination on filter runs and algae growths
| Engineering Index Backfile | 1942
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