Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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SINTERED BODY, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING APPARATUS
To provide a sintered body of yttrium oxyfluoride excellent in impact resistance.SOLUTION: The sintered body comprises yttrium oxyfluoride. At least a surface of the sintered body has microcracks.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】耐衝撃性に優れたオキシフッ化イットリウムの焼結体を提供する。【解決手段】オキシフッ化イットリウムを含む焼結体であって、上記焼結体の少なくとも表面にマイクロクラックを有してなることを特徴とする焼結体。【選択図】図１
SINTERED BODY, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING APPARATUS
To provide a sintered body of yttrium oxyfluoride excellent in impact resistance.SOLUTION: The sintered body comprises yttrium oxyfluoride. At least a surface of the sintered body has microcracks.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】耐衝撃性に優れたオキシフッ化イットリウムの焼結体を提供する。【解決手段】オキシフッ化イットリウムを含む焼結体であって、上記焼結体の少なくとも表面にマイクロクラックを有してなることを特徴とする焼結体。【選択図】図１
SINTERED BODY, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING APPARATUS
焼結体及び半導体製造装置用部材
IMAI MASAHITO (Autor:in) / ITO YASUTAKA (Autor:in)
09.02.2023
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
SINTERED BODY, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING APPARATUS
| Europäisches Patentamt | 2023
SINTERED BODY AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
| Europäisches Patentamt | 2023
| Europäisches Patentamt | 2020
| Europäisches Patentamt | 2019
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