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COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN FILM COATING MEMBER AND MANUFACTURING METHOD
To provide a composite material having high mechanical strength, and to provide a method for manufacturing the same.SOLUTION: A composite material includes a matrix, a fluorine resin and a metal material. The matrix is a metal oxide. The metal material is one or more kinds selected from a group including In, Sn and Bi. The composite material can be used for a sputtering target, as an example.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】機械的強度の高い複合材料及びその製造方法を提案する。【解決手段】複合材料は、マトリックスと、フッ素樹脂と、金属材料と、を含む。マトリックスは、金属酸化物である。金属材料は、Ｉｎ，Ｓｎ，Ｂｉを含む群から選択される１種以上である。当該複合材料は、一例としてスパッタリングターゲットとして利用可能である。【選択図】図３
COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN FILM COATING MEMBER AND MANUFACTURING METHOD
To provide a composite material having high mechanical strength, and to provide a method for manufacturing the same.SOLUTION: A composite material includes a matrix, a fluorine resin and a metal material. The matrix is a metal oxide. The metal material is one or more kinds selected from a group including In, Sn and Bi. The composite material can be used for a sputtering target, as an example.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】機械的強度の高い複合材料及びその製造方法を提案する。【解決手段】複合材料は、マトリックスと、フッ素樹脂と、金属材料と、を含む。マトリックスは、金属酸化物である。金属材料は、Ｉｎ，Ｓｎ，Ｂｉを含む群から選択される１種以上である。当該複合材料は、一例としてスパッタリングターゲットとして利用可能である。【選択図】図３
COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN FILM COATING MEMBER AND MANUFACTURING METHOD
複合材料、スパッタリングターゲット、薄膜被覆部材、及び製造方法
TAGA YASUNORI (Autor:in)
03.03.2023
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
COMPOSITE MATERIAL, SPUTTERING TARGET, THIN-FILM COATING MEMBER, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
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