Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR
포토리소그래피 공정을 이용하여 정밀한 채널과 함께 필라를 형성할 수 있는 세라믹 구조물 제조 방법 및 이를 이용한 3차원 구조의 고감도 센서에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 세라믹 구조물 제조 방법은 (a) 세라믹 파우더, 바인더 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 슬러리를 미리 정해진 형상으로 성형한 후 건조하여 그린 세라믹 구조물을 형성하는 단계; (c) 상기 그린 세라믹 구조물을 노광하되, 복수의 필라가 형성될 부분을 제외한 채널이 형성될 부분에 대하여 선택적으로 노광하거나, 채널 내에서 복수의 필라가 형성될 부분 및 나머지 부분에 대하여 선택적으로 노광하는 단계; (d) 상기 선택적 노광이 이루어진 그린 세라믹 구조물을 현상하여 채널 및 필라를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 채널 및 필라가 형성된 그린 세라믹 구조물을 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR
포토리소그래피 공정을 이용하여 정밀한 채널과 함께 필라를 형성할 수 있는 세라믹 구조물 제조 방법 및 이를 이용한 3차원 구조의 고감도 센서에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 세라믹 구조물 제조 방법은 (a) 세라믹 파우더, 바인더 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 슬러리를 미리 정해진 형상으로 성형한 후 건조하여 그린 세라믹 구조물을 형성하는 단계; (c) 상기 그린 세라믹 구조물을 노광하되, 복수의 필라가 형성될 부분을 제외한 채널이 형성될 부분에 대하여 선택적으로 노광하거나, 채널 내에서 복수의 필라가 형성될 부분 및 나머지 부분에 대하여 선택적으로 노광하는 단계; (d) 상기 선택적 노광이 이루어진 그린 세라믹 구조물을 현상하여 채널 및 필라를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 채널 및 필라가 형성된 그린 세라믹 구조물을 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR
필라를 구비하는 세라믹 구조물 제조 방법
20.11.2015
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
G03F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
,
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR AND HIGH-SENSITIVE SENSOR USING THE SAME
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