Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR AND HIGH-SENSITIVE SENSOR USING THE SAME
Disclosed are a method for manufacturing a ceramic structure capable of forming a pillar with a precise channel using a photolithography process and a highly sensitive sensor of a 3D structure using the same. The method for manufacturing the ceramic structure according to the present invention includes the steps of: (a) manufacturing a slurry including a ceramic power, a binder, and a solvent; (b) forming a green ceramic structure by drying the slurry after the slurry is formed with a preset shape; (c) selectively exposing a part to form a channel except a part to form a plurality of pillars or selectively exposing the part to form the pillars and the remaining part in the channel when the green ceramic structure is exposed; (d) forming the channel and the pillar by developing the green ceramic structure which is selectively exposed; and (e) sintering the green ceramic structure on which the channel and the pillar are formed.
포토리소그래피 공정을 이용하여 정밀한 채널과 함께 필라를 형성할 수 있는 세라믹 구조물 제조 방법 및 이를 이용한 3차원 구조의 고감도 센서에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 세라믹 구조물 제조 방법은 (a) 세라믹 파우더, 바인더 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 슬러리를 미리 정해진 형상으로 성형한 후 건조하여 그린 세라믹 구조물을 형성하는 단계; (c) 상기 그린 세라믹 구조물을 노광하되, 복수의 필라가 형성될 부분을 제외한 채널이 형성될 부분에 대하여 선택적으로 노광하거나, 채널 내에서 복수의 필라가 형성될 부분 및 나머지 부분에 대하여 선택적으로 노광하는 단계; (d) 상기 선택적 노광이 이루어진 그린 세라믹 구조물을 현상하여 채널 및 필라를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 채널 및 필라가 형성된 그린 세라믹 구조물을 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR AND HIGH-SENSITIVE SENSOR USING THE SAME
Disclosed are a method for manufacturing a ceramic structure capable of forming a pillar with a precise channel using a photolithography process and a highly sensitive sensor of a 3D structure using the same. The method for manufacturing the ceramic structure according to the present invention includes the steps of: (a) manufacturing a slurry including a ceramic power, a binder, and a solvent; (b) forming a green ceramic structure by drying the slurry after the slurry is formed with a preset shape; (c) selectively exposing a part to form a channel except a part to form a plurality of pillars or selectively exposing the part to form the pillars and the remaining part in the channel when the green ceramic structure is exposed; (d) forming the channel and the pillar by developing the green ceramic structure which is selectively exposed; and (e) sintering the green ceramic structure on which the channel and the pillar are formed.
포토리소그래피 공정을 이용하여 정밀한 채널과 함께 필라를 형성할 수 있는 세라믹 구조물 제조 방법 및 이를 이용한 3차원 구조의 고감도 센서에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 세라믹 구조물 제조 방법은 (a) 세라믹 파우더, 바인더 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 슬러리를 미리 정해진 형상으로 성형한 후 건조하여 그린 세라믹 구조물을 형성하는 단계; (c) 상기 그린 세라믹 구조물을 노광하되, 복수의 필라가 형성될 부분을 제외한 채널이 형성될 부분에 대하여 선택적으로 노광하거나, 채널 내에서 복수의 필라가 형성될 부분 및 나머지 부분에 대하여 선택적으로 노광하는 단계; (d) 상기 선택적 노광이 이루어진 그린 세라믹 구조물을 현상하여 채널 및 필라를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 채널 및 필라가 형성된 그린 세라믹 구조물을 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC BODY WITH PILLAR AND HIGH-SENSITIVE SENSOR USING THE SAME
필라를 구비하는 세라믹 구조물 제조 방법 및 이를 이용한 고감도 센서
YOON YOUNG JOON (Autor:in) / JUNG HYUN SUNG (Autor:in) / KIM CHANG YEOUL (Autor:in) / KIM JONG HEE (Autor:in) / KIM HYO TAE (Autor:in)
09.07.2015
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G03F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
,
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES
| Europäisches Patentamt | 2024
METHOD FOR MANUFACTURING PILLAR-SHAPED HONEYCOMB FIRED BODY
| Europäisches Patentamt | 2022
PILLAR PIPE AND PILLAR PIPE EXPANDING APPARATUS AND PILLAR PIPE MANUFACTURING METHOD
Europäisches Patentamt | 2019
PILLAR PIPE AND PILLAR PIPE EXPANDING APPARATUS AND PILLAR PIPE MANUFACTURING METHOD
| Europäisches Patentamt | 2018