Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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AN ELECTROSTATIC ACTUATOR METHOD FOR OPERATING A MICROMECHANICAL COMPONENT WITH THE ELECTROSTATIC ACTUATOR AND METHOD FOR PRODUCING THE ELECTROSTATIC ACTUATOR
본 발명은 3개 이상의 중간 프레임(10)을 구비한 정전 구동기에 관한 것이며, 인접한 각각 2개의 중간 프레임들(10)은 제1 회전축(16) 상에 종방향이 놓이는 하나 이상의 중간 스프링(14)에 의해 서로 연결되고, 제1 회전축(16)에 대해 평행하게 배향된 중간 프레임(10)의 프레임 바아(10a)에 중간 전극 핑거(22)가 배치되며, 상기 정전 구동기는, 제1 회전축(16)에 평행하지 않게 배향된 제2 회전축(20) 상에 종방향이 놓이는 하나 이상의 외부 스프링(18)에 의해 최외측 중간 프레임(10)에 연결되고 중간 프레임(10)을 둘러싸는 외부 프레임(12)을 구비하고, 이 경우 제2 회전축(20)에 대해 평행하게 배향된, 3개 이상의 중간 프레임(10) 중 최외측 중간 프레임(10)과 외부 프레임(12)의 프레임 바아(10b, 12a)에 외부 전극 핑거(30)가 배치된다. 본 발명은 또한 상기 정전 구동기를 구비한 미세 기계 부품과, 상기 유형의 미세 기계 부품의 작동 방법 및, 정전 구동기 및 미세 기계 부품의 제조 방법에 관한 것이다.
An electrostatic drive having at least three intermediate frames, each two adjacent intermediate frames being connected to one another via at least one intermediate spring whose longitudinal directions lie on a first axis of rotation, and intermediate electrode fingers being situated on frame girders oriented parallel to the first axis of rotation of the intermediate frames, and having an outer frame that surrounds the intermediate frames and that is connected to the outermost intermediate frame via at least one outer spring whose longitudinal direction lies on a second axis of rotation that is oriented non-parallel to the first axis of rotation, and outer electrode fingers being situated on frame girders oriented parallel to the second axis of rotation of the outer frame and of the outermost intermediate frame of the at least three intermediate frames. In addition, a micromechanical component having this electrostatic drive, a method for operating such a micromechanical component, and methods for manufacturing the electrostatic drive and the micromechanical component are described.
AN ELECTROSTATIC ACTUATOR METHOD FOR OPERATING A MICROMECHANICAL COMPONENT WITH THE ELECTROSTATIC ACTUATOR AND METHOD FOR PRODUCING THE ELECTROSTATIC ACTUATOR
본 발명은 3개 이상의 중간 프레임(10)을 구비한 정전 구동기에 관한 것이며, 인접한 각각 2개의 중간 프레임들(10)은 제1 회전축(16) 상에 종방향이 놓이는 하나 이상의 중간 스프링(14)에 의해 서로 연결되고, 제1 회전축(16)에 대해 평행하게 배향된 중간 프레임(10)의 프레임 바아(10a)에 중간 전극 핑거(22)가 배치되며, 상기 정전 구동기는, 제1 회전축(16)에 평행하지 않게 배향된 제2 회전축(20) 상에 종방향이 놓이는 하나 이상의 외부 스프링(18)에 의해 최외측 중간 프레임(10)에 연결되고 중간 프레임(10)을 둘러싸는 외부 프레임(12)을 구비하고, 이 경우 제2 회전축(20)에 대해 평행하게 배향된, 3개 이상의 중간 프레임(10) 중 최외측 중간 프레임(10)과 외부 프레임(12)의 프레임 바아(10b, 12a)에 외부 전극 핑거(30)가 배치된다. 본 발명은 또한 상기 정전 구동기를 구비한 미세 기계 부품과, 상기 유형의 미세 기계 부품의 작동 방법 및, 정전 구동기 및 미세 기계 부품의 제조 방법에 관한 것이다.
An electrostatic drive having at least three intermediate frames, each two adjacent intermediate frames being connected to one another via at least one intermediate spring whose longitudinal directions lie on a first axis of rotation, and intermediate electrode fingers being situated on frame girders oriented parallel to the first axis of rotation of the intermediate frames, and having an outer frame that surrounds the intermediate frames and that is connected to the outermost intermediate frame via at least one outer spring whose longitudinal direction lies on a second axis of rotation that is oriented non-parallel to the first axis of rotation, and outer electrode fingers being situated on frame girders oriented parallel to the second axis of rotation of the outer frame and of the outermost intermediate frame of the at least three intermediate frames. In addition, a micromechanical component having this electrostatic drive, a method for operating such a micromechanical component, and methods for manufacturing the electrostatic drive and the micromechanical component are described.
AN ELECTROSTATIC ACTUATOR METHOD FOR OPERATING A MICROMECHANICAL COMPONENT WITH THE ELECTROSTATIC ACTUATOR AND METHOD FOR PRODUCING THE ELECTROSTATIC ACTUATOR
정전 구동기, 정전 구동기를 구비한 미세 기계 부품의 작동 방법 및 정전 구동기의 제조 방법
31.01.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
H02N
Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
,
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
/
E04F
FINISHING WORK ON BUILDINGS, e.g. STAIRS, FLOORS
,
Ausbau von Bauwerken, z.B. Treppen, Fußböden
/
G02B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
,
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
Characterization and Modeling of a Curved Electrostatic Actuator
| British Library Online Contents | 2002
Repetitive control of an electrostatic microbridge actuator: theory and simulation
| British Library Online Contents | 2010
Analysis of an Electrostatic Micro-Actuator Based on Vertically-Horizontally Bending
| British Library Online Contents | 2013
| Europäisches Patentamt | 2024
| Europäisches Patentamt | 2024