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SAMPLE HOLDING TOOL
시료 유지구는 세라믹스로 이루어지고 상면에 시료 유지면을 갖는 기체와, 금속으로 이루어지고 상면으로 기체의 하면을 덮는 지지체는 인듐 또는 인듐합금으로 이루어지는 접합층을 통해 접합되어 있고, 접합층은 기체와의 접합면 및 지지체와의 접합면 중 적어도 한쪽에 접합층의 두께 방향에 있어서의 중간영역보다 인듐 산화물의 함유율이 높은 층영역을 갖는다.
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시료 유지구는 세라믹스로 이루어지고 상면에 시료 유지면을 갖는 기체와, 금속으로 이루어지고 상면으로 기체의 하면을 덮는 지지체는 인듐 또는 인듐합금으로 이루어지는 접합층을 통해 접합되어 있고, 접합층은 기체와의 접합면 및 지지체와의 접합면 중 적어도 한쪽에 접합층의 두께 방향에 있어서의 중간영역보다 인듐 산화물의 함유율이 높은 층영역을 갖는다.